真空バルブ

ZMシリーズ（取付関係図）

• ZM038
• ZM056
• ZM079
• ZM113
• ZM154
• ZM201

NVVシリーズ（取付関係図）

038

• NVV038S3
• NVV038ZM1
• SVV038C11
• NVV038SH3

056

• NVV056S3
• NVV056ZM1

079

• NVV079S3

113

• NVV113JT2
• NVV113JT3

154

• NVV154JT1

201

• NVV201NS1
• NVV201NS2

真空チルベント

CVV-Cシリーズ（冷却あり）

• CVV60-C
• CVV80-C
• CVV100-C
• CVV120-C

CVV-Dシリーズ（冷却なし）

• CVV60-D
• CVV80-D
• CVV100-D
• CVV120-D

真空装置

共通資料（真空装置）

• 入出力信号仕様
• 環境調査書記入例

DIEVS80-CVC2

• 仕様一覧
• 消耗品一覧

DIEVS120-CVC2

• 仕様一覧
• 消耗品一覧

※その他の型式に関しましては、メールまたはお電話にてお問い合わせください。