真空阀

ZM系列（安装示意图）

• ZM038
• ZM056
• ZM079
• ZM113
• ZM154
• ZM201

NVV系列（安装示意图）

038

• NVV038S3
• NVV038ZM1
• SVV038C11
• NVV038SH3

056

• NVV056S3
• NVV056ZM1

079

• NVV079S3

113

• NVV113JT2
• NVV113JT3

154

• NVV154JT1

201

• NVV201NS1
• NVV201NS2

波浪排气板

CVV-C系列（冷却系统）

• CVV60-C
• CVV80-C
• CVV100-C
• CVV120-C

CVV-D系列（无冷却系统）

• CVV60-D
• CVV80-D
• CVV100-D
• CVV120-D

真空装置

通用资料（真空装置）

• 输入输出信号规格
• 使用环境调查书

DIEVS80-CVC2

• 规格一览
• 消耗品一览

DIEVS120-CVC2

• 规格一览
• 消耗品一览

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